臺式納米顆粒沉積系統（納米團簇）是一種臺式真空系統，可將超純非團聚納米顆粒直接沉積到直徑達 50 毫米的任何表面上。專為共享研究或教學實驗室而設計，學生和研究人員可以在各種納米技術項目中并行使用，而不必擔心交叉污染。應用包括催化、光子學、儲能、傳感器和生命科學。

臺式納米顆粒沉積系統（納米團簇）主要特點

• 沉積無烴和非團聚的納米顆粒

• 從亞單層到高孔隙率 3-D 納米涂層

• 表面等離子體清潔和功能化

• 生成純金屬或化合物納米顆粒，如氧化物和氮化物。

• 多種材料可供選擇，包括 Ag、Au、Cu、Ni、Ir 和 Pt

• 使用石英晶體微量天平 （QCM） 進行實時沉積控制

• 可重復的工藝，典型循環時間為 30 分鐘

• 室溫沉積與石墨烯、膜和塑料等精密基材兼容

規格

• 重量：約 60 公斤（113 磅）

• 尺寸 ：（長x寬x高）70 x 50 x 60 厘米（27.6x 19.7 x 23.6 英寸）

消耗品

• 目標大小 ：直徑 1 英寸（25.4 毫米），最大厚度 3 毫米

• 最大采樣量： 直徑 50 毫米

• 材料 ：導電材料，包括 Ag、Au、Pt、Cu、Ni、Ti、Ir

控制軟件

直觀的用戶界面易于使用，不需要任何真空經驗。預裝的沉積配方使用戶能夠立即開始沉積納米顆粒。

突出

• 抽真空和沉積序列的自動化。

• 針對 Au、Ag 和 Pt 等常見材料的預加載優化沉積設置。

• 高級用戶可以選擇控制沉積條件，以根據他們的特定需求控制納米顆粒的尺寸和沉積速率。

• 使用沉積重量或沉積時間控制納米顆粒負載。

• 自動記錄所有過程和真空參數。