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光刻機又名:掩模對準曝光機,曝光系統,光刻系統,光刻機,紫外曝光機等;
MIDAS為半導體設備供應商,多年來致力于掩模對準光刻機和勻膠機研發與生產,并且廣泛應用于半導體、微電子、生物器件和納米科技領域;該公司是目前將光刻機商品化的公司之一,擁有雄厚的技術研發力量和設備生產能力;并且其設備被眾多著名企業、研發中心、研究所和高校所采用;以優秀的技術、工藝和良好的服務,贏得了用戶的青睞。
MDA-12SA光刻機產地:韓國MIDAS公司,唯1能做到圖形化藍寶石襯底(PSS)光刻機,高性價比
型號:MDA-12SA
MDA-12SA光刻機操作簡單,可編程控制器(PLC)操作,PC控制,圖像采集和數據記錄,100多個程序配方,電動操縱桿控制,電動變焦顯微鏡和工作臺,顯微鏡位置控制系統
•操縱桿控制,半自動
•掩模版尺寸高達14英寸
•基板尺寸8~12英寸
•均勻光束尺寸13.25*13.25英寸
•紫外線光源:紫外線燈,2 kW,5 kW
•光束波長:350~450 nm
•光束均勻性:<±5%
•365 nm強度:2 kW:~25 mW/?,5 kW:~45 mW/?
•定位方法:操縱桿控制,半自動
•對準精度:1 um
•操作模式:軟、硬、真空接觸和接近
•工藝分辨率:2 um@1 um PR厚度,真空接觸
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