





簡要描述:PL SERIES納米壓印,提供了一個帶有微定位裝置的機械平臺,用于安裝納米壓印室、UV固化源和校準(zhǔn)顯微鏡。它既可以作為納米壓印系統(tǒng),也可以作為傳統(tǒng)的掩模對準(zhǔn)器,同時為您的整個壓印過程提供可編程的自動控制。
產(chǎn)品型號:
廠商性質(zhì):代理商
更新時間:2025-12-04
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| 品牌 | 其他品牌 |
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PL SERIES納米壓印:
Midas推出了一種臺式、獨立的納米壓印平臺:PL系列PL 200/400/600。該平臺提供了一個帶有微定位裝置的機械平臺,用于安裝納米壓印室、UV固化源和校準(zhǔn)顯微鏡。它既可以作為納米壓印系統(tǒng),也可以作為傳統(tǒng)的掩模對準(zhǔn)器,同時為您的整個壓印過程提供可編程的自動控制。
PL SERIES納米壓印:
•基板尺寸 PL 200:2英寸,PL 400:4英寸,PL 600:6英寸(尺寸較小,形狀不規(guī)則)
•壓印面積與晶圓尺寸相同
•模板尺寸 PL 200:2,1英寸,PL 400:4,3,1英寸,PL 600:6,4,2,1英寸
•壓印壓力1 psi標(biāo)準(zhǔn)
•包括模具/基板自動釋放-無需特殊工具
•95%強度水平下的紫外線照射時間2~3分鐘
•對準(zhǔn)能力X、Y、Z和θ(精度2μm)
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