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簡(jiǎn)要描述：MBE 系統(tǒng)根據(jù)蒸發(fā)源的類型和數(shù)量以及基板大小，可提供不同的標(biāo)準(zhǔn)襯底尺寸：直徑300mm、直徑450mm 和 直徑570mm（根據(jù)要求的其他尺寸）。
產(chǎn)品型號(hào)：廠商性質(zhì)：代理商更新時(shí)間：2025-12-04訪 問 量：216產(chǎn)品分類
Product Category詳細(xì)介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
帶快速進(jìn)樣室的獨(dú)立 MBE 系統(tǒng)
本底真空優(yōu)于2x10-10mbar
4 軸操縱器，可直接連接電子光束加熱至 1200 °C 和 液氮LN2冷卻
Load-Lock進(jìn)樣室與線性傳輸桿，使樣品夾具傳輸方便。最多可存儲(chǔ)6個(gè)樣品夾具。
沉積室包含用于 RHEED 槍、離子槍、光束通量監(jiān)視器、石英晶體天平等的端口。
可更換底部法蘭，帶專用起重推車
沉積室中可防止交叉污染
樣品沉積室配備了用于分析儀器等的其他端口。
MBE 系統(tǒng)根據(jù)蒸發(fā)源的類型和數(shù)量以及基板大小，可提供不同的標(biāo)準(zhǔn)襯底尺寸：直徑300mm、直徑450mm 和 直徑570mm（根據(jù)要求的其他尺寸）。
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