多功能鍍膜系統(tǒng)滿足研究所和研發(fā)部門對真空薄膜沉積的性能要求，占用空間小，具有超高的性價比，可以向客戶提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。

多功能鍍膜系統(tǒng)特點

小容量，快速重復(fù)工作流程；

活性沉積區(qū)域最大為200nm（8英寸）直徑；

適應(yīng)多種襯底；

可配備多個濺射源（最多至4個）；

連續(xù)沉積模式或聯(lián)合沉積模式；

不同工作氣體控制；

共焦陰極分布；

50mm,75mm, 或100mm磁控濺射源；

內(nèi)置陰極角傾斜；

陰極擋板；

直流,脈沖，高頻（HG或MF）電源；

襯底，加熱，冷卻，或者RF/DC偏壓；

可添加預(yù)抽室。

科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )為多家國外高科技儀器廠家在中國地區(qū)的代理。科睿公司一貫秉承『誠信』、『品質(zhì)』、『服務(wù)』、『創(chuàng)新』的企業(yè)文化，為廣大中國用戶提供儀器、設(shè)備，周到的技術(shù)、服務(wù)和*的整體解決方案。在科技日新月異、國力飛速發(fā)展的中國，納米科學(xué)研究、薄膜材料(包括半導(dǎo)體)生長和表征、表面材料物性分析、生物藥物開發(fā)、有機高分子合成等等領(lǐng)域，都需要與歐美發(fā)達國家*接軌的儀器設(shè)備平臺來實現(xiàn)。科睿設(shè)備有限公司有幸成長在這個火熱的年代，我們愿意化為一座橋梁，見證中國科技水平的提升，與中國科技共同飛速成長。