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Midas推出了一個臺式、獨立的NANO IMPRINT納米壓印。
該平臺提供了一個帶有微定位裝置的機械平臺,用于安裝納米壓印室、UV固化源和校準顯微鏡。
它既可以作為納米壓印系統,也可以作為傳統的掩模對準器,同時為您的整個壓印過程提供可編程的自動控制。
NANO IMPRINT納米壓印的特點:
•分辨率低于10nm,產率為99%
•支持硬模和軟模
•可變的模具和基板尺寸提供了無與的倫比的便利性和靈活性
•自動釋放過程可防止分離過程中模具/基板損壞,并最大限度地提高每個印記的產量
•自動釋放過程可防止分離過程中模具/基板損壞,并最大限度地提高每個印記的產量
•多種應用的多功能流程:
•光學設備、顯示器、數據存儲、生物醫學
•器件、半導體IC、化學合成和*材料
•帶觸摸屏用戶界面的可編程PLC允許通過定制參數進行過程控制
•業UV固化納米壓印抗蝕劑對硬度或厚度沒有限制,與傳統光刻工藝兼容
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